ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T32386—2026 代替GB/T32386—2015 电子气体 六氟化钨 Electronicgas—Tungstenhexafluoride 2026-04-30发布 2026-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T32386—2015《电子工业用气体 六氟化钨》,与GB/T32386—2015相比,除结 构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: a) 更改了范围(见第1章,2015年版的第1章); b) 更改了六氟化钨应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章); c) 更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.4); d) 更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2); e) 更改了四氟化碳、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫含量的测定方法(见6.2,2015年 版的4.3); f) 更改了四氟化硅、氟化氢含量的测定方法(见6.3,2015年版的4.3、4.4); g) 更改了金属元素及其他元素含量的测定方法(见6.4,2015年版的4.5); h) 更改了检验规则(见第7章,2015年版的4.1); i) 更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2015年版的5.1); j) 更改了安全信息(见8.3,2015年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、宁夏宝廷新材料科技股份有限 公司、昊华气体有限公司西南分公司、中国计量测试学会、湖北和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股 份有限公司、大连华邦化学有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限 公司、三峡大学、贵州省产品质量检验检测院、浙江省化工研究院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大特(成都)气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、四川凯发计量检测 有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气(中国)投资有限 公司、科哲(上海)阀门有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有 限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳 中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、福建优力特材 料科技有限公司、中国计量大学、上海市计量测试技术研究院有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司 北京代表处、天策标准化服务(天津)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、大连光明化学工业气体质 量监测中心有限公司成都分公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:张金彪、曹素英、王瑜、李嘉磊、杨扬仲夫、程化鹏、吴旭飞、钟少勇、邸士强、 江罗、杜鹏举、张长金、滕鑫胜、袁有录、史兰、侯鹏、钱吉、钟卉菲、方华、娄珈元、邓海平、黄辉、王宾、 谭淇、尚柏羊、赵跃、刘英杰、房嵩、殷昊、王阳、牛迪、孙鑫、谈益强、尹乐乐、高静、张朋越、史婉君、胡树国、 马浩淼、吴国忠、王乐、李洪佳、宫兵、王大为、梁永强、赵洁、袁其龙、姜阳、王勇、任希辉、董志仪、王晓文、 何波、黄小强、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅、王康茂。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———2015年首次发布为GB/T32386—2015; ———本次为第一次修订。 ⅠGB/T32386—2026电子气体 六氟化钨 1 范围 本文件规定了六氟化钨的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描 述了相应的试验方法。 本文件适用于以氟或氟化物与钨为原料制备的六氟化钨。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14193.1 液化气体气瓶充装规定 第1部分:工业气瓶 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T32566 不锈钢焊接气瓶 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 GB/T34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 GB/T46384.1 电子气体中酸度的测定 第1部分:傅里叶变换红外光谱法 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 六氟化钨的技术要求应符合表1的规定,一级、二级及三级的六氟化钨还应增加金属元素及其他元 素的要求,金属元素及其他元素的要求应符合表2的规定。 1GB/T32386—2026表1 技术要求 项目名称指标 一级 二级 三级 四级 六氟化钨(WF6)纯度(摩尔分数) ≥99.9999×10-2≥99.9995×10-2≥99.999×10-2≥99.9×10-2 四氟化碳(CF4)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6<10×10-6 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数)<0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6<50×10-6 氮(N2)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<1×10-6<1×10-6<50×10-6 一氧化碳(CO)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6 — 二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6 — 六氟化硫(SF6)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6<10×10-6 四氟化硅(SiF4)含量(摩尔分数) <0.1×10-6<0.5×10-6<0.5×10-6<10×10-6 氟化氢(HF)含量(摩尔分数) <0.3×10-6<1×10-6<3×10-6<800×10-6 杂质总含量(摩尔分数) ≤1×10-6≤5×10-6≤10×10-6≤1000×10-6 表2 金属元素及其他元素技术要求 项目名称指标 一级 二级 三级 钼(Mo)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.8×10-6 铁(Fe)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤1×10-6 钾(K)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 钠(Na)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 铬(Cr)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 钍(Th)含量(质量分数) ≤0.008×10-6≤0.008×10-6≤0.008×10-6 铀(U)含量(质量分数) ≤0.004×10-6≤0.004×10-6≤0.004×10-6 钴(Co)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.8×10-6 锰(Mn)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 铅(Pb)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 锌(Zn)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 钙(Ca)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 镁(Mg)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 镍(Ni)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 铜(Cu)含量(质量分数) ≤0.08×10-6≤0.2×10-6≤0.4×10-6 铝(Al)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 砷(As)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 硼(B)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 2GB/T32386—2026表2 金属元素及其他元素技术要求(续) 项目名称指标 一级 二级 三级 镉(Cd)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.2×10-6≤0.2×10-6 钛(Ti)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 锂(Li)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.4×10-6≤0.4×10-6 硅(Si)含量(质量分数) ≤0.4×10-6≤0.8×10-6≤0.8×10-6 磷(P)含量(质量分数) ≤0.2×10-6≤0.2×10-6≤0.2×10-6 5 采样 六氟化钨的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 6.1 六氟化钨纯度 6.1.1 一级、二级及三级六氟化钨纯度的计算 6.1.1.1 杂质总含量 杂质总含量按公式(1)计算: x9=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8…………………………(