ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T31987—2026 代替GB/T31987—2015 电子气体 锗烷 Electronicgas—Germane 2026-04-30发布 2026-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T31987—2015《电子工业用气体 锗烷》,与GB/T31987—2015相比,除结构调 整和编辑性改动外,主要技术变化如下: a) 更改了范围(见第1章,2015年版的第1章); b) 更改了锗烷应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章); c) 更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.2); d) 更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2); e) 更改了氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法(见6.2,2015年版的4.4); f) 更改了水分含量的测定方法(见6.3,2015年版的4.5); g) 增加了金属元素含量的测定方法(见6.4); h) 更改了检验规则(见第7章,2015年版的4.1); i) 更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2015年版的5.1); j) 更改了安全信息(见8.3,2015年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、广东华特气体股份有限公司、宁夏宝廷新材料科 技股份有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、重庆同辉气体有限公司、中国计量测试学会、云南驰 宏国际锗业有限公司、大连华邦化学有限公司、太和气体(荆州)有限公司、河北盛泰芯材科技股份有限 公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、浙江省化工研究院有限 公司、贵州省产品质量检验检测院、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、大特(成都)气体有限公司、液化空气(中国) 投资有限公司、科哲(上海)阀门有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特 新材料有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、杭州云必技术有限公司、中国计量科学研究院、 杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、北京睿信 捷环保科技有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、 天策标准化服务(天津)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、福建优力特材料科技有限公司、三峡大 学、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:马昌宁、杨俊豪、陈扬天、茹高艺、杨扬仲夫、王瑜、李洪佳、王晓文、阳辉、吴文静、 黄加斗、刘辉、钟卉菲、陈琛、赖晓峰、张帆利、廖吉伟、刘英杰、周桂明、史兰、侯鹏、钱吉、袁有录、方华、 娄珈元、黄辉、邓海平、殷昊、朱安民、王阳、陈爽、葛修杰、谈益强、尹乐乐、高静、李安林、赵鑫蕊、王漫、 贾任远、任超、宫兵、王大为、梁永强、赵洁、魏王慧、董翊、任希辉、董志仪、何波、唐中伟、袁其龙、周鹏云、 唐霞梅、高文龙、陈学航。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———2015年首次发布为GB/T31987—2015; ———本次为第一次修订。 ⅠGB/T31987—2026电子气体 锗烷 1 范围 本文件规定了锗烷的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了 相应的试验方法。 本文件适用于以氧化锗或氯化锗或锗镁合金为原料制备的锗烷。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分:电解法 GB/T5832.2 气体分析 微量水分的测定 第2部分:露点法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14193.1 液化气体气瓶充装规定 第1部分:工业气瓶 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 GB/T34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 锗烷的技术要求应符合表1的规定。 1GB/T31987—2026表1 技术要求 项 目 指标 锗烷(GeH4)纯度(摩尔分数) ≥99.999×10-2 氢(H2)含量(摩尔分数) <50×10-6 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数) <2×10-6 氮(N2)含量(摩尔分数) <2×10-6 一氧化碳(CO)含量(摩尔分数) <1×10-6 二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数) <1×10-6 甲烷(CH4)含量(摩尔分数) <1×10-6 水分(H2O)含量(摩尔分数) <3×10-6 杂质总含量(摩尔分数) ≤10×10-6 乙锗烷含量 供需双方商定 金属元素含量 供需双方商定 颗粒 供需双方商定 5 采样 锗烷的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 6.1 锗烷纯度 6.1.1 杂质总含量 杂质总含量按公式(1)计算: x7=x1+x2+x3+x4+x5+x6…………………………(1) 式中: x1———(氧+氩)含量(摩尔分数); x2———氮含量(摩尔分数); x3———一氧化碳含量(摩尔分数); x4———二氧化碳含量(摩尔分数); x5———甲烷含量(摩尔分数); x6———水分含量(摩尔分数); x7———杂质总含量(摩尔分数)。 6.1.2 纯度 锗烷纯度按公式(2)计算: x=(100-x7×102)×10-2…………………………(2) 2GB/T31987—2026 式中: x———锗烷纯度(摩尔分数)。 6.2 氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定 6.2.1 测定方法 按GB/T28726规定的方法测定锗烷中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。可采用其 他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T28726规定的方法为仲裁方法。 6.2.2 预分离柱 6.2.2.1 预分离柱Ⅰ:长0.6m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的碳分子 筛,或其他等效色谱柱。 6.2.2.2 预分离柱Ⅱ:长3m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合 物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。 6.2.3 色谱柱 6.2.3.1 色谱柱Ⅰ:长1.5m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子 筛,或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。 6.2.3.2 色谱柱Ⅱ:长3m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物 (乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 6.2.4 标准样品 标准样品中氢含量宜与被测样品中氢含量相近,其余组分含量(摩尔分数)宜为1×10-6~5× 10-6,平衡气为高纯氦,应符合GB/T4844的规定。 6.2.5 参考的气路流程图 参考的气路流程示意图见附录A。 6.3 水分含量的测定 按GB/T5832.1或GB/T5832.2或其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T5832.2 规定的方法为仲裁方法。 6.4 金属元素含量的测定 按GB/T34972的规定执行。 6.5 尾气处理 测定时,应有尾气处理措施,防止锗烷对环境的污染。 7 检验规则 锗烷产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合技术要求的规定时,判该产品合格。当检验结果 有任何一项指标不符合技术要求的规定时,则判该产品不合格。 3GB/T31987—20268 标志、包装、运输、贮存及安全信息 8.1 标志 8.1.1 锗烷出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括: ———产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号; ———生产日期或批号,以及保质期; ———充装质量(kg); ———本文件编号及锗烷的纯度。 8.1.2 包装容器上宜涂刷“电子气体 锗烷”字样。 8.1.3 锗烷的包装标志应符合GB190的规定,颜色标志应符合GB/T7144的规定,标签应符合 GB15258、GB/T16804的规定。 8.2 包装、运输及贮存 8.2.1 包装锗烷的气瓶应符合GB/T5099(所有部分)或GB/T11640或GB/T33145的规定。 8.2.2 锗烷的充装及贮运应符合GB/T14193.1、TSG23的规定,充装及贮运的安全管理条例见《危险 化学品安全管理条例》《特种设备安全监察条例》。 8.2.3 锗烷的充装系数为0.05kg/L。