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ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T31986—2026 代替GB/T31986—2015 电子气体 八氟丙烷 Electronicgas—Octafluoropropane 2026-04-30发布 2026-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T31986—2015《电子工业用气体 八氟丙烷》,与GB/T31986—2015相比,除结 构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: a) 更改了范围(见第1章,2015年版的第1章); b) 更改了八氟丙烷应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章); c) 更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.2); d) 更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2); e) 更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟 环丁烷含量的测定方法(见6.2,2015年版的4.3、4.4); f) 增加了一氯五氟乙烷含量的测定方法(见6.2); g) 更改了水分含量的测定方法(见6.3,2015年版的4.5); h) 更改了氟化氢含量的测定方法(见6.4,2015年版的4.6); i) 更改了检验规则(见第7章,2015年版的4.1); j) 更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2015年版的5.1); k) 更改了安全信息(见8.3,2015年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、西南化工研究设计 院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、中国计量测试学会、浙江巨化技术中心有限公司、湖北 和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、大连华邦化学有限公司、福建久策气体股份有限 公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、三峡大学、北京普瑞分析仪器有限公司、浙江省化工研究 院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、 贵州省产品质量检验检测院、中国计量大学、宿州伊维特新材料有限公司、大连光明化学工业气体质量 监测中心有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、液化空气电子材料(张家港)有限公司、布鲁克 (北京)科技有限公司、杭州云必技术有限公司、英德市西洲气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、 昆明广瑞达特种气体有限责任公司、中国计量科学研究院、四川凯发计量检测有限公司、杭州新世纪混 合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都 分公司、北京睿信捷环保科技有限公司、福建优力特材料科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、 和立气体(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表 处、科哲(上海)阀门有限公司、天策标准化服务(天津)有限公司。 本文件主要起草人:叶树全、张前臻、杨波、华辉、杨扬仲夫、傅铸红、陈艳珊、江罗、杜鹏举、程化鹏、 郭雅飞、程炎锋、赵沙、殷玲、王云飞、魏晓娟、袁有录、史兰、郭琼、钟卉菲、方华、刘翰东、钱吉、李文强、 谈益强、尹乐乐、刘英杰、房嵩、高春胜、尚柏羊、赵跃、王刚、孙晓丽、吴婉怡、李安林、黄辉、张朋越、 史婉君、高静、王德发、张体强、赵武勇、万龙旭、吴国忠、王乐、宫兵、王大为、赖晓峰、赵洁、袁其龙、何波、 唐中伟、梁永强、高艳秋、于瑞祥、任希辉、王阳、董志仪、王晓文、周鹏云、唐霞梅、王康茂。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———2015年首次发布为GB/T31986—2015; ———本次为第一次修订。 ⅠGB/T31986—2026电子气体 八氟丙烷 1 范围 本文件规定了八氟丙烷的技术要求采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述 了相应的试验方法。 本文件适用于以六氟丙烯或七氟丙烷为原料制备的八氟丙烷。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分:电解法 GB/T5832.2 气体分析 微量水分的测定 第2部分:露点法 GB/T5832.3 气体分析 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14193.1 液化气体气瓶充装规定 第1部分:工业气瓶 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 GB/T43306 气体分析 采样导则 GB/T46384.1 电子气体中酸度的测定 第1部分:傅里叶变换红外光谱法 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 八氟丙烷的技术要求应符合表1的规定。 1GB/T31986—2026表1 技术要求 项目 指标 八氟丙烷(C3F8)纯度(摩尔分数) ≥99.999×10-2 (氧+氩)(O2+Ar)含量(摩尔分数) <1×10-6 氮(N2)含量(摩尔分数) <3×10-6 一氧化碳(CO)含量(摩尔分数) <0.5×10-6 二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数) <0.5×10-6 甲烷(CH4)含量(摩尔分数) <0.5×10-6 其他碳氟化合物(四氟化碳、一氯五氟乙烷、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷)含 量(摩尔分数)<1×10-6 水分(H2O)含量(摩尔分数) <1×10-6 氟化氢(HF)含量(摩尔分数) <0.1×10-6 总杂质含量(摩尔分数) ≤10×10-6 颗粒 供需双方商定 5 采样 八氟丙烷的采样应符合GB/T43306的规定。 6 试验方法 6.1 八氟丙烷纯度 6.1.1 杂质总含量 杂质总含量按公式(1)计算: x9=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8…………………………(1) 式中: x1———(氧+氩)含量(摩尔分数); x2———氮含量(摩尔分数); x3———一氧化碳含量(摩尔分数); x4———二氧化碳含量(摩尔分数); x5———甲烷含量(摩尔分数); x6———其他碳氟化合物含量(摩尔分数); x7———水分含量(摩尔分数); x8———氟化氢含量(摩尔分数); x9———杂质总含量(摩尔分数)。 6.1.2 纯度 八氟丙烷纯度按公式(2)计算: 2GB/T31986—2026x=(100-x9×102)×10-2…………………………(2) 式中: x———八氟丙烷纯度(摩尔分数)。 6.2 氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、一氯五氟乙烷、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、 八氟环丁烷含量的测定 6.2.1 测定方法 按GB/T28726规定的方法测定八氟丙烷中氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氟化碳、一氯 五氟乙烷、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结 果有异议时,以GB/T28726规定的方法为仲裁方法。 6.2.2 预分离柱 6.2.2.1 预分离柱Ⅰ:长3m、内径2mm的316L不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的改性碳 分子筛,或采用其他等效预分离柱。 6.2.2.2 预分离柱Ⅱ:长0.6m、内径约2mm的不锈钢管,内装约粒径为0.18mm~0.25mm的硅胶, 或其他等效预分离柱。 6.2.3 色谱柱 6.2.3.1 色谱柱Ⅰ:长1.5m、内径3mm的316L不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分 子筛,或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧+氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。 6.2.3.2 色谱柱Ⅱ:长2m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的改性碳分子筛, 或其他等效色谱柱。该柱用于测定四氟化碳含量。 6.2.3.3 色谱柱Ⅲ:长2m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子材料(乙 基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、六氟乙烷含量。 6.2.3.4 色谱柱Ⅳ:长4m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子材料(乙 基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定一氯五氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙 烷、八氟环丁烷含量。 6.2.4 标准样品 标准样品中组分含量(摩尔分数)宜为1×10-6~5×10-6,平衡气为高纯氦,应符合GB/T4844的 规定。 6.2.5 参考的气路流程图 参考的气路流程示意图见附录A。 6.3 水分含量的测定 按GB/T5832.1或GB/T5832.2或GB/T5832.3的规定执行。当对测定结果有异议时,以GB/T5832.3 规定的方法为仲裁方法。 6.4 氟化氢含

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