ICS31.080.99 N05 备案号：44263—2014 中华人民共和国机械行业标准 JB/T11623—2013 平面厚膜半导体气敏元件 Thick film metal oxide semiconductor gas sensors 2014-07-01实施 2013-12-31发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T116232013 目 次 前言 .11 1 范围 规范性引用文件 3术语和定义 符号... 分类、型号 要求... 试验方法.. 检验规则.. 10 9 标志、包装、运输和贮存 11 附录A（规范性附录）参数符号 13 附录B（规范性附录）容积比混合配气方法 14 JB/T11623—2013 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。 本标准起草单位：郑州炜盛电子科技有限公司、沈阳仪表科学研究院、河南汉威电子股份有限公司、 国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、传感器国家工程研究中心、中国仪器仪表协会传感器分会。 本标准主要起草人：张小水、祁明锋、王利利、秦东振、徐秋玲、于振毅、郑浩、刘沁、股波。 本标准为首次发布。 II JB/T11623—2013 平面厚膜半导体气敏元件 1范围 本标准规定了平面厚膜半导体气敏元件（以下简称平面元件）的术语和定义、分类、型号、要求、 试验方法、检验规则、标志、包装、运输和存。 本标准适用于平面厚膜半导体气敏元件，其他半导体气敏元件亦可参考采用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191—2008包装储运图示标志 GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AOL）检索的逐批检验抽样 计划 GB/T2829—2002 周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB30951996环境空气质量标准 GB15322.2—2003 可燃气体探测器第2部分：测量范围为01CC%LEL的独立式可燃气体探 测器 GB/T15652—1995 金属氧化物半导体气敏元件总规范 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 清洁空气中电阻值（Ra）resistanceincleanair 在规定工作条件下，平面元件在清洁空气中的稳态电阻值。 3.2 检测气体中电阻值（Rdg）resistanceindisplayedgas 在规定工作条件下，平面元件在规定浓度检测气体中的稳态电阻值。 3.3 灵敏度（S）sensitivity 在规定工作条件下，平面元件在清洁空气中的稳态电阻值与在规定浓度检测气体中的稳态电阻值之 比。 3.4 气体分辨率（D）gasresolution 在规定工作条件下，平面元件在规定浓度的干扰气体和规定浓度的检测气体中的稳态电阻值之比。 3.5 响应时间（tres）responsetime 在规定工作条件下，平面元件接触规定浓度检测气体后，其电阻下降（或上升）到清洁空气中稳态 1 JB/T11623—2013 电阻值与检测气体中稳态电阻值差值的70%时所需要的时间。 3.6 恢复时间（tree） recoverytime 在规定工作条件下，平面元件脱离检测气体后，其电阻上升（或下降）到清洁空气中稳态电阻值与 检测气体中稳态电阻值差值的70%时所需要的时问。 4 符号 本标准中所使用符号应按附录A的规定。 5 分类、型号 5.1 分类 平面元件应按下列规定分类： a）空气质量检测型； b）可燃气体检测型； c）酒精检测型； d）有机蒸汽检测型； e）毒性气体检测型。 5.2 型号 型号为：MP-□。 M—敏感； P平面厚膜： 口——平面元件类别。 平面元件类别见表1。 表1 平面元件类别 口（代号） 测试气体种类 产品类别 3 酒精 酒精检测型 4 天然气 可燃气体检测型 5 天然气、 液化气、人工煤气 可燃气体检测型 9 液化气 可燃气体检测型 7 一氧化碳 毒性气体检测型 8 人工煤气 可燃气体检测型 6 要求 6.1 正常工作环境 温度：15℃~35℃； 相对湿度：45%~75%； 大气压力：86kPa~106kPa： 2 JB/T11623—2013 气氛：应无影响测试的干扰气体。 6.2外观 管座、管帽表面应光滑、无裂纹、无划痕、无损伤、无脱落，引线坚固无松动现象。 6.3外形尺寸 按产品详细规范要求。 6.4 技术参数 平面元件在特征浓度气样中检测时，其技术参数性能应符合表2的规定。 表2技术参数表 清洁空气中 检测气体中 特征气体 响应时间 恢复时间 产品类型 平面元件电阻值 平面元件电阻值 灵敏度 气体分辨率 /X10-6 s s k2 k 空气质量检测型 氢气/50 10~100 1~30 ≥3 ≤10 可燃气体检测型 甲烷/5000 50~200 1~50 >5 ≤10 ≤30 酒精检测型 酒精/125 50~300 1~50 ≥3 ≤10 ≤30 有机蒸汽检测型 甲苯/10 100~500 10~100 >5 ≤10 ≤30 一 二氧化氮/3 100~1000 1000~30000 S00> ≤30 ≤60 氟利昂/100 10~500 30~200 >3 ≤10 ≤30 毒性气体检测型 硫化氢/5 10~100 1~100 >3 ≥2（5000×10甲烷） ≤10 ≤30 -氧化碳/100 10~100 1~10 ≥5 ≥2（5000×10甲烷） ≤60 6.5 清洁空气中平面元件电阻值 平面元件在规定工作条件下，其电阻值应符合表2的规定。 6.6检测气体中平面元件电阻值 平面元件在标准浓度检测气体中，其电阻值应符合表2的规定。 6.7灵敏度 平面元件在规定浓度的特征气体中，其灵敏度应符合表2的规定。 6.8 气体分辨率 平面元件在规定浓度的干扰气体和检测气体中的分辨率应符合表2的规定。 6.9 响应时间 平面元件的响应时间应符合表2的规定。 6.10恢复时间 平面元件的恢复时间应符合表2的规定。 m JB/T11623—2013 6.11 机械环境影响 平面元件经过振动（正弦）、冲击（规定脉冲）和跌落试验后，结构应无脱落、松动和损坏现象， 灵敏度的变化量不超过原灵敏度土20%。 6.12 引出端强度 平面元件经过引出端强度试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%。 6.13锡焊 平面元件经过锡焊试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%。 6.14温度影响 平面元件经过高温、低温试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%，外观符合6.2的要求。 6.15 恒定湿热 平面元件经过恒定湿热试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%，外观符合6.2的要求。 6.16 长期稳定性 平面元件经过长期稳定性试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%，外观符合6.2的要求。 6.17高浓度淹没 平面元件经过高浓度没试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%，外观符合6.2的要求。 6.18 电源波动 平面元件经过电源波动试验后，灵敏度的变化量不超过原灵敏度的土20%，外观符合6.2的要求。 7 试验方法 7.1 试验条件 7.1.1 测试空气条件 应符合GB3095—1996中规定的2级环境空气标准。 7.1.2 试验用气体标准物质 气体标准物质，不确定度应不大于2%。 采用特征气体标准气样检测时，其浓度容许误差应符合表3的规定。 表3 标准气样浓度及容许误差表 标准气样浓度 X10 容许误差% ≤100 ±20 100~1000 ±10 1000~5000 ±5 >5000 ±5 4