电子产品用高纯石英砂SJ/T3228.1-2016—一第1部分：技术条件 中华人民共和国电子行业标准《电子产品用高纯石英砂》第1部分一一技术条件 标准编号：SJ/3228.1-2016 标准状态：现行有效 本标准由中华人民共和国工业和信息化部2016年1月15日发布，2016年6月1是开始实施。 前言 本系列标准计划分下列部分出版： SJ/T3228.1电子产品用高纯石英砂第1部分技术条件； -SJ/T3228.2 电子产品用高纯石英砂第2部分分析方法通则 -SJ/T3228.5 - 电子产品用高纯石英砂第5部分铁的测定 -SJ/T3228.6 电子产品用高纯石英砂第6部分铜的测定 SJ/T3228.8 电子产品用高纯石英砂第8部分铝的测定； -SJ/T3228.10电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定。 本部分为第1部分。 设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出井归口。本部分起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研 究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所。 本部分主要起草人：李运强、程尚棚、许振午、栾振祥、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。本部分所代替标准 的历次版本发布情况为：——SJ3228.1-1989。 1范围 本部分规定了电子产品用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等。 本部分适用于电子产品用高纯石英砂，可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及等器件。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不 注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T8946塑料编织袋 GB/T8947复合塑料编织袋 GB/T32650电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素 SJ/T3328.4电子产品用高纯石英砂第4部分二氧化硅的测定 SJ/T 3328.8 电子产品用高纯石英砂第8部分铝的测定 SJ/T3328.10电子产品用高纯石英砂第10部分铅的测定 SJ/T10380工业用酸洗石英砂 3技术要求 3.1外观 电子产品用高纯石英砂为具有一定透明度的白色颗粒，应无异色、肉眼可见的杂质。 3.2二氧化硅含量 二氧化硅含量应符合表1规定。 表1二氧化硅含量 指标 项目 一级 二级 三级 ≥99.9991% %066666 ≥99.9980% 二氧化硅 3.3粒度 粒径应在70μm~350μm范围内。 3.4杂质元素含量 杂质元素含量应符合表2规定。 表2杂质元素含量 允许含量 杂质元素 一级 二级 三级