(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221537601.2 (22)申请日 2022.06.17 (73)专利权人 台州凌诺自动化科技有限公司 地址 318000 浙江省台州市椒江区葭沚街 道东方太阳城小区4栋1803室(自主申 报)(仅限办公) (72)发明人 夏海博　覃颖艺　 (74)专利代理 机构 浙江维创盈嘉专利代理有限 公司 33477 专利代理师 程雪 (51)Int.Cl. G01B 5/00(2006.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种多尺寸晶圆盒治具 (57)摘要 本实用新型公开了一种多尺 寸晶圆盒治具， 属于晶圆盒检测技术领域， 提供一种结构简单且 能便于检测不同尺寸的晶圆盒用的治具,具体为 包括检测 台面及设置在检测 台面上的检测传感 器组及定位块组， 还包括： 缓冲底座， 缓冲底座设 置在检测台面的下侧； 其中缓冲底座包括： 支撑 柱， 支撑柱的上端向内形成有阶梯安置孔， 缓冲 底板， 缓冲底板位于支撑柱的下侧。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217637060 U 2022.10.21 CN 217637060 U 1.一种多尺寸晶圆盒治具， 包括检测台面(1)及设置在检测台面(1)上的检测传感器组 及定位块组， 其特 征是， 还包括： 缓冲底座， 所述的缓冲底座设置在检测台面(1)的下侧； 其中所述的缓冲底座包括： 支撑柱(3)， 支撑柱(3)的上端向内形成有阶梯安置孔； 缓冲底板(4)， 所述的缓冲底板(4)位于支撑柱(3)的下侧。 2.根据权利要求1所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特 征是， 所述的缓冲底座还 包括： 连接法兰(5)， 在所述的支撑柱(3)上端向外延伸出有连接法兰(5)， 且在检测台面(1) 下形成有若干均匀分布的固定孔， 并在连接法兰(5)下侧设置有若干均匀分布且穿过连接 法兰(5)与固定孔螺纹连接的限位螺杆(6)， 且限位螺杆(6)与连接法兰(5)滑动配合。 3.根据权利要求2所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特 征是， 所述的缓冲底座还 包括： 减震弹簧(7)， 在所述的限位螺杆(6)的位于连接法兰(5)的上下两端分别套设有一个 减震弹簧(7)， 且 减震弹簧(7)外设置有外 接触层。 4.根据权利要求3所述的一种 多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 所述的阶梯安置孔包括从 下至下直径递减的上孔部(8)与下孔部(9)， 在所述的上孔部(8)内设置有若干均匀分布的 缓冲支撑件， 所述的缓冲支撑件 包括： 限位卡块(10)， 限位卡块(10)固定设置在 上孔部(8)的内壁上， 且限位卡块(10)的中部 设置有贯 穿的承接孔(1 1)， 且承接孔(1 1)为阶梯孔； 限位柱(12)， 限位柱(12)的底部形成有限位段， 所述的限位柱(12)穿出限位卡块(10) 并与限位 卡块(10)滑动连接， 且通过限位段卡在承接孔内； 限位顶块(13)， 在限位柱(12)的端部固定设置有限位顶块(13)， 限位顶块(13)朝向上 孔部(8)的中部形成有斜面切削部(14)， 在所述的检测台面(1)设置有于斜面切削部(14)配 合的斜面凸台(15)； 限位弹簧， 在所述的限位柱(12)上套设置有限位弹簧， 且限位弹簧的两端抵在限位顶 块(13)与限位 卡块(10)上。 5.根据权利要求4所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 在所述的上孔部(8)的内 壁截面呈凸字形 的限位块， 在限位卡块朝向上孔部(8)内壁的方向设置有与限位块配合的 限位槽(16)。 6.根据权利要求5所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 在所述的斜面凸台(15)的 底部向下孔部(9)内延伸有导向柱(17)， 导向柱(17)上设置有外螺纹， 并在外螺纹上设置有 限位环(18)， 并在下孔部(9)内设置有抵向限位环(18)的缓冲弹簧(19)。 7.根据权利要求6所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 所述的支撑柱(3)的底部 向内形成有安装孔， 在缓冲底板(4)设置有与安装孔螺纹连接的连接杆(20)。 8.根据权利要求7所述的一种 多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 在所述的缓冲底板外沿设 置有若干螺栓孔。 9.根据权利要求8所述的一种多尺寸晶圆盒治具， 其特征是， 所述的斜面切削部(14)呈 弧形， 且与斜 面凸台(15)的侧壁相配合。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217637060 U 2一种多尺寸晶圆盒治 具 技术领域 [0001]本实用新型属于晶圆盒检测技 术领域， 尤其涉及一种多尺寸晶圆盒治具。 背景技术 [0002]晶圆盒作为半导体生产过程中用于储存与输送晶圆的容器而被广泛使用。 为适用 于不同的晶圆的储存与输送， 晶圆盒有多种类型， 其中， 为了对不同的晶圆盒予以区分， 目 前大多是采用人工的方式， 或者在晶圆盒上贴标签的方式来识别晶圆盒， 进一步地将其分 类， 但这样的分类方式不仅易于出错， 而且浪费较多的人力， 影响生产效率的提高及生产成 本的降低。 因此出现了如中 国实用新型专利授权公告为CN216369014U的一种晶圆盒在 线分 类装置， 这类分类机构配合搬运机构将晶圆盒， 搬运机构大都采用活塞杆及气爪的组合形 式从而将晶圆盒运送到治具上， 同时将晶圆盒下压抵在治具， 通过治具上设置的不同位置 的传感器判断所放置的晶圆盒的尺寸， 但是在下压过程中由于气杆或液压缸抵向治具时会 产生一定的冲击， 容 易导致晶圆盒 或治具受损， 从而降低了检测治具的实用性能。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是针对上述存在的技术问题， 提供一种结构简单且能便于检测 不同尺寸的 晶圆盒用的治具。 [0004]本实用新型的目的是这样实现的： 一种多尺寸晶圆盒治具， 包括检测台面及设置 在检测台面上的检测传感器组及定位 块组， 还包括： [0005]缓冲底座， 缓冲底座设置在检测台面的下侧； 其中缓冲底座包括： [0006]支撑柱， 支撑柱的上端向内形成有阶梯安置孔， [0007]缓冲底板， 缓冲底板位于支撑柱的下侧。 其中传感器组包括三组直径递减且按圆 周整列的传感器， 分别有四寸晶圆盒传感器、 六寸晶圆盒传感器及八寸晶圆盒传感器， 且每 组中包括了四个传感器； 而定位块组有两组或三组， 为两组时其中一组用于限位四寸晶圆 盒、 另一组用于限位八寸晶圆盒传感器、 而六寸晶圆盒卡在两组定位 块之间。 [0008]在本技术方案中， 通过设置缓冲底座能在晶圆盒下压时起到良好的缓冲支撑的效 果， 从而避免冲击力过 大而导致治具或晶圆盒的损坏。 [0009]在上述技术方案中， 进一 步设置为， 缓冲底座还 包括： [0010]连接法兰， 在支撑柱上端向外延伸出有连接法兰， 且在检测台面下形成有若干均 匀分布的固定孔， 并在连接法兰下侧设置有若干均匀分布且穿过连接法兰与固定孔螺纹连 接的限位螺杆， 且限位螺杆与连接法兰滑动配合。 [0011]在本技术方案中， 连接法兰与限位螺杆的配合能起到连接检测台面及防止检测台 面旋转的效果， 进 而确保了检测台面良好的检测效果。 [0012]在上述技术方案中， 进一 步设置为， 缓冲底座还 包括： [0013]减震弹簧， 在限位螺杆的位于连接法兰的上下两端分别套设有一个减震弹簧， 且 减震弹簧外设置有外 接触层； 外 接触层为橡胶保护层。说　明　书 1/5 页 3 CN 217637060 U 3