(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222377915.7 (22)申请日 2022.09.07 (73)专利权人 山东加睿晶欣新材 料股份有限公 司 地址 272000 山东省济宁市高新区凯旋路 南营工业园内 (72)发明人 吴拥中　龚圣智　赵宇　刘忠旭　 (74)专利代理 机构 济宁汇景知识产权代理事务 所(普通合伙) 37254 专利代理师 葛东升 (51)Int.Cl. B24B 29/00(2006.01) B24B 27/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 41/00(2006.01)B24B 47/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型化学机 械抛光机 (57)摘要 本实用新型公开了一种新型化学机械抛光 机， 涉及抛光机技术领域， 包括机体， 机体的顶端 设有抛光组件， 抛光组件包括支 撑杆、 加工板、 支 撑架、 驱动电机、 加工盘和辅助结构， 支撑杆与机 体顶端的中部转动连接， 支 撑杆的顶端固定加工 板， 支撑架固定设置在机体顶端的中部， 支撑架 的顶端开设有调节槽， 调节槽的内部转动连接有 固定架， 本实用新型的有益效果是： 通过支撑杆 支撑加工板， 并通过驱动电机固定加工盘， 来配 合对物料进行抛光打磨处理， 同时使用支撑架对 固定架进行支撑， 并配合电动液压推杆的伸缩端 带动支撑架快速转动调节加工盘的位置， 来使其 与放料板位置和加工板的位置对应来实现快速 上下料使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218017752 U 2022.12.13 CN 218017752 U 1.一种新型化学机械抛光机， 包括机体 （1） ， 其特征在于， 所述机体 （1） 的顶端设有抛光 组件 （4） ， 所述抛光组件 （4） 包括支 撑杆 （41） 、 加工板 （42） 、 支撑架 （43） 、 驱动电机 （44） 、 加工 盘 （45） 、 辅助结构 （46） 和固定架 （47） ， 所述支撑杆 （41） 与所述机体 （1） 顶端的中部转动连 接， 所述支撑杆 （41） 的顶端固定加工板 （42） ， 所述支撑架 （43） 固定设置在所述机体 （1） 顶端 的中部， 所述支撑架 （43） 的顶端开设有调节槽， 所述调节槽的内部转动连接有固定架 （47） ， 所述固定架 （47） 的一侧滑动连接有驱动电机 （44） ， 所述 驱动电机 （44） 的顶端固定设有加工 盘 （45） ， 所述加工盘 （45） 的底端设有辅助结构 （46） 。 2.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述支撑架 （43） 的一 侧固定设有支撑板 （5） ， 所述支撑板 （5） 的一侧转动连接有电动液压推杆 （3） ， 所述电动液压 推杆 （3） 的伸缩端与所述固定架 （47） 的另一侧转动连接， 所述固定架 （47） 的一侧固定设有 第一电动伸缩杆 （2） ， 所述第一电动伸缩杆 （2） 的伸缩端与所述 驱动电机 （44） 的顶端固定连 接， 所述固定架 （47） 一侧的固定设有两个定位杆 （8） ， 两个所述定位杆 （8） 均与所述驱动电 机 （44） 的两侧滑动连接 。 3.根据权利要求2所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述辅助结构 （46） 包 括加工槽 （461） 、 限位板 （462） 、 辅助杆 （463） 、 第二电动伸缩 杆 （464） 和放料板 （465） ， 所述加 工槽 （461） 开设在所述加工盘 （45） 的底端， 所述加工槽 （461） 的内部开设有四个滑动槽， 四 个所述滑动槽的底端均滑动连接有限位板 （462） ， 四个所述限位板 （462） 的一侧均固定 设有 限位垫， 四个所述限位板 （462） 的另一侧均转动连接有辅助杆 （463） ， 四个所述辅助杆 （463） 的一端均与所述加 工盘 （45） 的表面螺纹连接， 所述第二电动伸缩杆 （464） 固定设置在所述 机体 （1） 顶端的另一侧， 所述第二电动伸缩杆 （464） 的伸缩端均固定设有放料板 （46 5） 。 4.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述机体 （1） 的内部 开设有放置槽， 所述放置槽的内部滑动连接有放置板 （9） ， 所述放置板 （9） 的一侧固定设有 把手 （10） 。 5.根据权利要求3所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述机体 （1） 的内部 开设有驱动槽， 所述驱动槽的内部固定设有伺服电机 （11） ， 所述支撑杆 （41） 的底端固定设 有连接杆， 所述伺服电机 （1 1） 的传动轴通过 联轴器与所述连接杆的一端固定连接 。 6.根据权利要求5所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述机体 （1） 的一侧 固定设有控制 箱 （12） ， 所述控制 箱 （12） 的内部固定设有开关面板 （13） ， 所述开关面板 （13） 的表面固定 设有电动液压推杆开关、 第一电动伸缩杆开关、 第二电动伸缩杆开关、 驱动电机 开关和伺服电机开关， 所述电动液压推杆 （3） 、 第一电动伸缩杆 （2） 、 第二电动伸缩 杆 （464） 、 驱动电机 （44） 和伺服电机 （11） 分别通过电动液压推杆开关、 第一电动伸缩杆开关、 第二电 动伸缩杆开关、 驱动电机开关和伺服电机开关与电源电性连接 。 7.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光机， 其特征在于： 所述机体 （1） 底端的 四角均固定设有减震器 （6） ， 四个所述减震器 （6） 的底端均固定设有底板 （7） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218017752 U 2一种新型化学 机械抛光机 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种抛光机， 特别涉及一种新型化学机械抛光机， 属于抛光机技 术领域。 背景技术 [0002]抛光机也称为研磨机， 常常用作机械式研磨、 抛光及打蜡。 其工作原理是： 电动机 带动安装在抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转， 由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待 抛表面进行摩擦， 进而可达到去除漆面污染、 氧化层、 浅痕的目的。 抛光盘的转速一般在 1500‑3000 r/min， 多为无级变速， 施工时可根据需要随时调整。 [0003]其中申请号为 “CN202020874855.8 ”所公开的“一种电化学机械抛光机 ”也是日益 成熟的技术， 其 “包括气缸、 导电环、 抛光头、 透明保护罩、 导电盘、 安装板和安装框架； 所述 气缸通过安装板与第一调速电机相连接， 并通过固定块固定在安装框架上， 所述导电环与 抛光头通过上旋转轴相连； 所述安装板上固定有气缸活塞杆、 双直线导轨和滑 块， 所述第一 调速电机的输出轴通过上联轴器与上旋转轴相连接。 本实用新型结合电、 化学、 机械多能场 作用， 可实现集成电路制造中互连金属的高效、 超精密抛光 ”， 但是该装置在实际使用时还 存在以下缺陷。 [0004]1） 不便于对抛光结构快速调节 移动， 来便 于配合工作人员实现快速上 下料使用； [0005]2） 不便于快速调节夹持物料并对加持料进行调节夹持使用。 实用新型内容 [0006]本实用新型的目的在于提供一种新型化学机械抛光机， 以解决上述背景技术中提 出的现有的化学机械抛光机不便于对抛光结构快速调节移动实现快速上下料， 且不便于快 速调节夹持物料的问题。 [0007]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种新型化学机械抛光机， 包括 机体， 所述机体的顶端设有抛光组件， 所述抛光组件包括支撑杆、 加工板、 支撑架、 驱动电 机、 加工盘和辅助结构， 所述支撑杆与所述机体顶端的中部转动连接， 所述支撑杆的顶端固 定加工板， 所述支撑架固定 设置在所述机体顶端的中部， 所述支撑架的顶端开设有调节槽， 所述调节槽的内部转动连接有固定架， 所述固定架的一侧滑动连接有驱动电机， 所述驱动 电机的顶端固定设有加工盘， 所述加工盘的底端设有辅助结构。 [0008]优选的， 所述支撑架的一侧固定设有支撑板， 所述支撑板 的一侧转动连接有电动 液压推杆， 所述电动液压推杆的伸缩端与所述固定架的另一侧 转动连接， 所述固定架的一 侧固定设有第一电动伸缩杆， 所述第一电动伸缩杆的伸缩端与所述驱动电机的顶端固定连 接， 所述固定架一侧的固定设有两个定位杆， 两个所述定位杆均与所述驱动电机的两侧滑 动连接。 [0009]优选的， 所述辅助结构包括加工槽、 限位板、 辅助杆、 第二电动伸缩杆和放料板， 所 述加工槽开设在所述加工盘的底端， 所述加工槽的内部开设有四个滑动槽， 四个所述滑动说　明　书 1/4 页 3 CN 218017752 U 3