(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222050005.8 (22)申请日 2022.08.05 (73)专利权人 吉安创利科技有限公司 地址 343009 江西省吉安市青原区电子 工 业城2号厂房 (72)发明人 刘建军　黄礼嘉　肖锡耀　 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/12(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置 (57)摘要 本实用新型公开了液晶显示屏生产用ITO膜 蚀刻装置， 包括激光蚀刻机主体、 激光发射器和 用于吸收烟气的集烟机构， 所述集烟机构包括有 烟道、 抽气机、 净化箱以及罩在激光发射器外侧 的防护罩结构， 该防护罩结构用于防止烟气四 散， 所述净化箱通过烟 道和抽气机与防护罩结构 内部相连通； 所述防护罩结构 包括有伸缩罩以及 分别与伸缩罩上下端通过拆装结构进行连接的 顶罩和底 罩， 所述伸缩罩的外侧设置有若干个调 节结构。 本实用新型中的集烟机构可以及时将产 生的烟气抽走， 避免烟气污染加工环境， 并且设 置的防护罩结构可以进行伸缩调节， 从而使 得底 罩贴合被加工件表面或者工作台面， 实现从源头 处防止烟气四散， 使得烟气收集更加快速和彻 底。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217859378 U 2022.11.22 CN 217859378 U 1.液晶显示屏 生产用ITO膜蚀刻装置， 包括激光蚀刻机主体 （1） 、 激光发射器 （2） 和用于 吸收烟气的集烟机构， 其特征在于： 所述集烟机构包括有烟道 （6） 、 抽气 机 （7） 、 净化箱 （8） 以 及罩在激光发射器 （2） 外侧的防护罩结构， 该防护罩结构用于防止烟气四散， 所述净化箱 （8） 通过烟道 （6） 和抽气机 （7） 与防护罩结构内部相连通； 所述防护罩结构包括有伸缩罩 （3） 以及分别与伸缩罩 （3） 上下端通过拆装结构进行连 接的顶罩 （4） 和底罩 （5） ， 所述伸缩罩 （3） 的外侧设置有若干个调节结构， 该调节结构用于调 节伸缩罩 （3） 的长度。 2.根据权利要求1所述的液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述调节结 构设置有八组， 且调节结构沿顶罩 （4） 和底罩 （5） 的外边 缘四周的每 个侧边分别设置三组。 3.根据权利要求1所述的液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述调节结 构包括有螺杆 （9） 和用于拆装螺杆 （9） 的连接结构 （10） ， 所述螺杆 （9） 贯穿顶 罩 （4） 且与顶罩 （4） 螺纹连接， 且螺杆 （9） 与连接结构 （10） 之间为 转动连接 。 4.根据权利要求3所述的液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述连接结 构 （10） 包括有通过可拆卸方式进行连接的插块 （101） 和插筒 （102） ， 且插块 （101） 与螺杆 （9） 转动连接， 而插筒 （102） 与底罩 （5） 相固定 。 5.根据权利要求4所述的液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述插块 （101） 的内部安装有弹簧 （103） ， 且弹簧 （103） 的两端分别连接有凸块 （104） ， 该凸块 （104） 贯 穿插块 （101） 并插 入插筒 （102） 的侧壁 开孔中。 6.根据权利 要求1所述的液晶显示屏 生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述底罩 （5） 采用弹性金属片材质， 且该底罩 （5） 可变形。 7.根据权利要求1所述的液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 其特征在于： 所述拆装结 构包括有与伸缩罩 （3） 套接的连接围管 （11） 和密封条 （12） ， 所述连接围管 （11） 分別安装在 顶罩 （4） 和底罩 （5） 靠近伸缩罩 （3） 的一侧， 且密封条 （12） 紧压在连接围管 （11） 与伸缩罩 （3） 的连接处。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217859378 U 2液晶显示屏生产用IT O膜蚀刻装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及液晶显示屏生产加工技术领域， 尤其是液晶显示屏生产用ITO膜 蚀刻装置 。 背景技术 [0002]ITO膜是指采用磁控溅射的方法， 在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡导电 薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品， 液晶显示屏在生产加工过程中需要进行 ITO膜蚀刻操作， 目前在进行ITO膜蚀刻时， 常采用激光蚀刻技 术。 [0003]而现有的ITO膜激光蚀刻设备在蚀刻过程中会产生烟雾， 且烟雾四散不易集中处 理， 影响加工环境。 [0004]为此， 我们提出 液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置解决上述问题。 发明内容 [0005]本实用新型的目的在于提供液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置， 以解决上述背景 技术中提出的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0007]液晶显示屏生产用IT O膜蚀刻装置， 包括激光蚀刻机主体、 激光发射器和用于吸收 烟气的集烟机构， 所述集烟机构包括有烟道、 抽气 机、 净化箱以及罩在激光 发射器外侧的防 护罩结构， 该防护罩结构用于防止烟气四散， 所述净化箱通过烟道和抽气机与防护罩结构 内部相连通； [0008]所述防护罩结构包括有伸缩罩以及分别与伸缩罩上下端通过拆装结构进行连接 的顶罩和底罩， 所述伸缩罩的外侧设置有若干个调节结构， 该调节结构用于调节伸缩罩的 长度。 [0009]在进一步的实施例中， 所述调节结构设置有八组， 且调节结构沿顶罩和底罩的外 边缘四周的每 个侧边分别设置三组。 [0010]在进一步的实施例中， 所述调节结构包括有螺杆和用于拆装螺杆的连接结构， 所 述螺杆贯 穿顶罩且与顶罩螺纹连接， 且螺杆与连接结构之间为 转动连接 。 [0011]在进一步的实施例中， 所述连接结构包括有通过可拆卸方式进行连接的插块和插 筒， 且插块与螺杆转动连接， 而插筒与底罩相固定 。 [0012]在进一步的实施例中， 所述插块的内部安装有弹簧， 且弹簧的两端分别连接有凸 块， 该凸块 贯穿插块并插 入插筒的侧壁 开孔中。 [0013]在进一步的实施例中， 所述底罩采用弹性金属片材质， 且该底罩可变形。 [0014]在进一步的实施例中， 所述拆装结构包括有与伸缩罩套接 的连接围管和密封条， 所述连接围管分別安装在顶罩和底罩靠近伸缩罩的一侧， 且密封条紧压在连接围管与伸缩 罩的连接处。 [0015]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是：说　明　书 1/3 页 3 CN 217859378 U 3