(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222540085.5 (22)申请日 2022.09.26 (73)专利权人 安徽富乐德长江半导体材 料股份 有限公司 地址 244000 安徽省铜陵市义 安区南海路 (72)发明人 王思远　吴伟　侯明　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. B01F 35/22(2022.01) B01F 35/71(2022.01) B01F 23/40(2022.01) (54)实用新型名称 一种晶圆清洗用清洗液配比罐 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆清洗用清洗液 配比罐， 涉及到晶圆清洗技术领域， 包括内部安 装有搅拌系统的罐体， 还包括滑动套设在所述排 液管外壁上的延伸管， 所述延伸管通过两连接杆 分别与固定在所述罐体底部的两电动伸缩杆的 输出端固定， 两所述电动伸缩 杆的输出端均通过 缓冲弹簧与套设在所述延伸管外壁上的环板固 定连接， 所述环板的底部固定连接有套设在所述 延伸管外壁上的锥形导流块， 所述环板的上方固 定连接有第一安装板， 且所述第一安装板的下端 固定连接有与所述控制器电性连接的第一接触 开关， 所述环板的下方安装有浮力开关单元。 本 配比罐可防止排液时液体由于高度差与桶底发 生碰撞导致混合液溅出， 造成混合液的浪费， 自 动化程度高且操作方便 。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 218107547 U 2022.12.23 CN 218107547 U 1.一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 包括内部安装有搅拌系统的罐体 （1） ， 所述罐体 （1） 的上端安装有若干个储 液桶 （2） ， 且每个所述储 液桶 （2） 的出液管上均安装电子流量计 （3） ， 所述罐体 （1） 的排液管上安装有电动阀门 （5） ， 所述电动阀门 （5） 和所述电子流量计 （3） 均与 所述罐体 （1） 外壁上安装有的PLC控制器电性连接， 其特征在于： 还包括滑动套设在所述排 液管外壁上的延伸管 （4） ， 所述延伸管 （4） 通过两连接杆 （9） 分别与固定在所述罐体 （1） 底部 的两电动伸缩杆 （6） 的输出端固定连接， 两所述电动伸缩杆 （6） 的输出端均通过缓冲弹簧 （17） 与套设在所述延伸管 （4） 外壁上的环板 （13） 固定连接， 所述环板 （13） 的底部固定连接 有套设在所述延伸管 （4） 外壁上的锥形导流块 （14） ， 且所述锥形导流块 （14） 的外壁固定连 接有弹性密封圈 （7） ， 所述环板 （13） 的上方固定连接有第一安装板 （10） ， 且 所述第一安装板 （10） 的下端固定连接有与所述控制器电性连接的第一接触开关 （11） ， 用于控制所述电动伸 缩杆 （6） 停止工作和控制所述电动阀门 （5） 打开排液管通道， 所述环板 （13） 的下方安装有浮 力开关单元 （12） ， 通过液体浮力作用控制所述电动阀门 （5） 关闭和控制所述电动伸缩 杆 （6） 带动所述环板 （13） 恢复原位。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 其特征在于： 所述浮力开关单 元 （12） 包括固定连接于所述延伸管 （4） 外壁上的第二安装块 （121） 和固定连接于于所述第 二安装块 （121） 下端的两立柱 （123） ， 所述第二安装块 （121） 的下端 固定连接有与所述控制 器电性连接的第二接触开关 （122） ， 两所述立柱 （123） 上滑动套接有浮板 （12 4） ， 两所述立柱 （123） 的下端固定连接有对所述 浮板 （124） 形成支撑的支撑 板 （125） 。 3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 其特征在于： 所述环板 （13） 的底部上呈圆周固定 设置有不低于三个导向杆 （16） ， 三个所述导向杆 （16） 均向外倾斜 设置， 所述 导向杆 （16） 用于 接料桶位置进行调整。 4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 其特征在于： 所述锥形导 流块 （14） 和所述环板 （13） 相对应的位置上均设置有 若干个内腔相通的微 孔 （15） 。 5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 其特征在于： 所述锥形导 流块 （14） 的外壁上设置有疏 水涂层。 6.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 其特征在于： 所述环板 （13） 的 上端固定安装有与所述第二接触开关 （122） 电性连接的激振器 （8） ， 所述激振器 （8） 用于控 制所述环板 （13） 震动。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218107547 U 2一种晶圆清洗用清洗液配比罐 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆清洗技 术领域， 特别涉及一种晶圆清洗用清洗液配比罐。 背景技术 [0002]半导体晶圆片清洗旨在去除半导体晶圆片制造过程中引入的各种污染物质。 半导 体晶圆片清洗质量的优劣对晶圆片的成品率以及可靠性有非常大的影响。 在清洗的过程 中， 使用加热后的清洗液在清洗槽中对晶圆片进行清洗。 晶圆片清洗液一般由两种清洗液 生成试剂和去离 子水按照预定的体积比配置而成。 [0003]现有的配比罐配液完毕后， 当其与晶圆清洗设备距离较远时， 无法直接将清洗液 加入到清洗设备中， 此时需要将配比罐中的混合液通过接料桶转移至清洗设备中， 在对接 料桶进行灌液时， 由于配比罐 的排液管与接料桶的内腔底部存在一定的高度差， 刚开始灌 液时， 排液管排出且具有一定流速的水会容易与接料桶的底部发生碰撞并从桶口溅出， 造 成混合液的浪费， 因此， 本申请提供了一种晶圆清洗用清洗液配比罐来满足需求。 实用新型内容 [0004]本申请的目的在于提供一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 本配比罐可对接料桶的桶 口进行密封并进行定量灌液， 灌液完毕后自动恢复原位， 可防止排液时液体由于高度差与 桶底发生碰撞导 致混合液 溅出， 避免造成混合液的浪费， 自动化 程度高且操作方便 。 [0005]为实现上述目的， 本申请提供如下技术方案： 一种晶圆清洗用清洗液配比罐， 包括 内部安装有搅拌系统的罐体， 所述罐体的上端安装有若干个储液桶， 且每个所述储液桶的 出液管上均安装电子流量计， 所述罐体的排液管上安装有电动阀门， 所述电动阀门和所述 电子流量计均与所述罐体外壁上安装有的PLC控制器电性连接， 还包括滑动套设在所述排 液管外壁上的延伸管， 所述延伸管通过两连接杆分别与固定在所述罐体底部的两电动伸缩 杆的输出端固定连接， 两所述电动伸缩杆的输出端均通过缓冲弹簧与套设在所述延伸管外 壁上的环板固定连接， 所述环板的底部固定连接有套设在所述延伸管外壁上的锥形导流 块， 且所述锥形导流块的外壁固定连接有弹性密封圈， 所述环板的上方固定连接有第一安 装板， 且所述第一安装板的下端固定连接有与所述控制器电性连接的第一接触开关， 用于 控制所述电动伸缩杆停止工作和控制所述电动阀门打开排液管通道， 所述环板的下方安装 有浮力开关单元， 通过液体浮力作用控制所述电动阀门关闭和控制所述电动伸缩杆带动所 述环板恢复原位。 [0006]优选的， 所述浮力开关单元包括固定连接于所述延伸管外壁上的第二安装块和固 定连接于于所述第二安装块下端的两立柱， 所述第二安装块的下端固定连接有与所述控制 器电性连接的第二接触开关， 两所述立柱上滑动套接有浮板， 两所述立柱的下端固定连接 有对所述 浮板形成支撑的支撑 板。 [0007]优选的， 所述环板 的底部上呈圆周固定设置有不低于三个导向杆， 三个所述导向 杆均向外倾 斜设置， 所述 导向杆用于 接料桶位置进行调整。说　明　书 1/4 页 3 CN 218107547 U 3