(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221542590.7 (22)申请日 2022.06.20 (73)专利权人 上海亘满科技有限公司 地址 201108 上海市闵行区春光路9 9弄18 号2幢 (72)发明人 丁佳奇　姜洁华　曲晶　 (74)专利代理 机构 上海大视知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 31314 专利代理师 顾小伟 (51)Int.Cl. B08B 9/093(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) B01D 35/02(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 高洁净干燥置换一体化设备 (57)摘要 本实用新型提供了一种高洁净干燥置换一 体化设备， 其中回流口通过第一精细过滤器分别 管路连接第一管路通断开关和第四管路通断开 关， 第一管路通断开关通过置换工质储液罐管路 连接液体输送装置， 液体输送装置管路连接第二 管路通断开 关， 出流口通过第二精细过滤器分别 管路连接第二管路通断开关和第三管路通断开 关， 储气瓶通过进气口管路连接加热器， 加热器 管路连接第三管路通断开关， 第四管路通断开关 管路连接排气口。 本实用新型的高洁净干燥置换 一体化设备能够快速方便的洁净置换干燥内部 有残留液体的容器或管道， 不会带入40um以上的 颗粒物， 设计巧妙， 结构简洁， 制造简便， 制造成 本低， 适于大规模推广应用。 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 CN 217616636 U 2022.10.21 CN 217616636 U 1.一种高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 包括回流口、 第一精细过滤器、 第一 管路通断开关、 置换工质储 液罐、 液体输送装置、 第二管路通断开关、 第二精细过滤器、 出流 口、 储气瓶、 进气口、 加热器、 第三管路通断开关、 第四管路通断开关和排气口， 其中： 所述回流口通过所述第一精细过滤器分别管路连接所述第一管路通断开关和所述第 四管路通断开关， 所述第一管路通断开关通过所述置换工质储液罐管路连接所述液体输送 装置， 所述液体输送装置管路连接所述第二管路通断开关， 所述出流口通过所述第二精细 过滤器分别管路连接所述第二管路通断开关和所述第三管路通断开关， 所述储气瓶通过所 述进气口管路连接所述加热器， 所述加热器管路连接所述第三管路通断开关， 所述第四管 路通断开关管路连接所述 排气口。 2.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述第 一精细过滤 器和所述第二精细过 滤器均为15um精细过 滤器。 3.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述第 一管路通断 开关、 所述第二管路通断开关、 所述第三管路通断开关和所述第四管路通断开关均为电磁 阀。 4.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括流量测量装置， 所述流量测量装置 设置在所述第一管路通断开关和所 述置换工质储液 罐之间的连接管路中。 5.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括压力测量装置， 所述压力测量装置 设置在所述液体输送装置和所述第 二管路通断开关之间的连接管路中。 6.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括压力调节装置， 所述进气口通过所述压力调节装置管路连接所述加热 器。 7.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括温度测量装置， 所述温度测量装置 设置在所述第二精细过滤器和所述 出流口之间的连接管路中。 8.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括进 液口、 第五管路通断开关、 气 体排出口和第六管路通断开关， 所述进 液口通过所述第五管路通断开关管路连接所述第一管路通断开关和所述置换工质储液罐 之间的连接管路， 所述置换工质储液罐通过所述第六管路通断开关管路连接所述气 体排出 口。 9.根据权利要求1所述的高洁净干燥置换一体化设备， 其特征在于， 所述高洁净干燥置 换一体化设备还包括排液口和 第七管路通断开关， 所述置换工质储液罐通过所述第七管路 通断开关管路连接所述 排液口。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217616636 U 2高洁净干燥置换一体化设备 技术领域 [0001]本实用新型涉及机械设备技术领域， 更具体地， 涉及清洗干燥设备技术领域， 特别 是指一种高洁净干燥置换一体化设备。 背景技术 [0002]现有的常规的容器或管道的清洗方法是： 先用泵泵送工质 冲洗容器， 再将容器放 到烘箱里烘干 。 [0003]中国实用新型专利 “一种洁净设备干燥置换系统 ”(专利号： ZL201521108282.3)披 露了一种洁净容器干燥置换系统， 包括第一管道、 第二管道、 第三管道、 待洁净干燥置换 的 容器、 吸收罐和缓冲罐， 各组件通过阀门和接头相连， 第二管道的端设有气体置换容器， 第 三管道的末端连接有真空泵， 吸收罐和缓冲罐通过进 出气管A、 B与第三管道连接。 抽真空干 燥后直接进行气体置换， 实现了洁净容器的干燥置换 过程的一体化操作。 [0004]但是， 对于要被置换的容器或管道内部有残留液体， 需要先用无水乙醇进行循环， 冲洗， 然后用高温的高纯氮气对容器或管道内部进行吹扫和烘干， 容器或管道有高洁净度 要求， 要求系统不能带入40um以上的颗粒物， 而现有技术， 无论是常规清洗方法还是上述洁 净容器干燥置换系统， 均无法满足上述要求。 [0005]因此， 需要提供一种高洁净干燥置换一体化设备， 其能够快速方便 的洁净置换干 燥内部有残留液体的容器或管道， 不会带入40um以上的颗粒物。 实用新型内容 [0006]为了克服上述现有技术中的缺点， 本实用新型的一个目的在于提供一种高洁净干 燥置换一体化设备， 其能够快速方便的洁净置换干燥内部有残留液体的容器或管道， 不会 带入40um以上的颗粒物， 适于大规模推广应用。 [0007]本实用新型的另一目的在于提供一种高洁净干燥置换一体化设备， 其设计巧妙， 结构简洁， 制造简便， 制造成本低， 适于大规模推广应用。 [0008]为达到以上目的， 本 实用新型提供了一种高洁净干燥置换一体化设备， 其特点是， 包括回流口、 第一精细过滤器、 第一管路通断开关、 置换工质储液罐、 液体输送装置、 第二管 路通断开关、 第二精细过滤器、 出流口、 储气瓶、 进气口、 加热器、 第三管路通断开关、 第四管 路通断开关和排气口， 其中： [0009]所述回流口通过所述第一精细过滤器分别管路连接所述第一管路通断开关和所 述第四管路通断开关， 所述第一管路通断开关通过所述置换工质储液罐管路连接所述液体 输送装置， 所述液体输送装置管路连接所述第二管路通断开关， 所述出流口通过所述第二 精细过滤器分别管路连接所述第二管路通断开关和所述第三管路通断开关， 所述储气瓶通 过所述进气口管路连接所述加热器， 所述加热器管路连接所述第三管路通断开关， 所述第 四管路通断开关管路连接所述 排气口。 [0010]较佳地， 所述第一精细过 滤器和所述第二精细过 滤器均为15um精细过 滤器。说　明　书 1/6 页 3 CN 217616636 U 3