(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221331973.X (22)申请日 2022.05.25 (73)专利权人 荣耀半导体材 料 （嘉善） 有限公司 地址 314112 浙江省嘉兴 市嘉善县惠民街 道鼎阳路1号1号楼B幢 (72)发明人 洪巧水　粘怡达　孟余红　 (74)专利代理 机构 嘉兴启帆专利代理事务所 (普通合伙) 33253 专利代理师 陈宇航 (51)Int.Cl. B65D 25/10(2006.01) B65D 25/02(2006.01) B65D 25/20(2006.01) B65D 45/02(2006.01) B65D 85/30(2006.01) (54)实用新型名称 一种高洁净度的立式晶圆出货盒 (57)摘要 本实用新型公开一种高洁净度的立式晶圆 出货盒， 包括盒体， 盒体内固定安装有晶圆放置 架， 晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部与第 二卡槽部， 第一卡槽部与第二卡槽部分别相对应 设有若干第一晶圆卡槽与若干第二晶圆卡槽， 盒 体的上端开口处设有盒盖， 盒盖的下表面设有若 干晶圆卡口， 盒盖的四周边沿朝下设有连接边， 连接边的下端面设有插槽， 插槽内固定设有一圈 密封泡沫垫， 盒体的上端插入到插槽中并与密封 泡沫垫挤压， 盒体的四周通过若干卡接结构与盒 盖可拆卸连接， 盒体的上端与密封泡沫垫挤压能 对盒体内部进行密封， 保证了盒体内的高洁净 度， 卡接结构能快速 拆装盒体与盒盖， 比较方便 。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 217919101 U 2022.11.29 CN 217919101 U 1.一种高洁净度的立式晶圆出货 盒， 其特征在于， 包括盒体， 所述盒体的上端开口并且 朝下延伸形成内腔， 所述内腔 内固定安装有晶圆放置架， 所述晶圆放置架包括相对设置的 第一卡槽部与第二卡槽部， 所述第一卡槽部上设有若干第一晶圆卡槽， 所述第二卡槽部上 设有若干与第一晶圆卡槽相对应的第二晶圆卡槽， 所述盒体的上端开口处设有盒盖， 所述 盒盖的下表面设有若干与第一晶圆卡槽以及第二晶圆卡槽相对应的晶圆卡口， 所述盒盖的 四周边沿朝下弯折形成连接边， 所述连接边的下端面朝上延伸设有插槽， 所述插槽内固定 设有一圈密封泡沫垫， 所述插槽与盒体的上端相匹配， 所述盒体的上端插入到插槽中并与 密封泡沫垫挤压抵接， 所述盒体的四周通过若干卡接结构与盒盖可拆卸连接， 所述卡接结 构包括固定设置于盒体外壁上 的连接块， 所述连接块的上端面朝下延伸设有插孔， 所述插 孔的横截面呈矩形状， 所述盒盖的侧 壁上固定设有竖直设置的插条， 所述插条与插孔相匹 配， 所述插条由上至下插入到插孔中， 所述插孔的侧壁上设有调节槽， 所述调节槽内滑动设 有调节件， 所述调节件呈 “山”形设置， 所述调节槽包括水平设置的第一凹槽、 第二凹槽以及 第三凹槽， 所述第一凹槽设置于调节孔内靠近盒体的一侧内壁上， 所述第二凹槽以及第三 凹槽分别设置于第一凹槽相邻的两侧内壁上并与第一凹槽连通， 所述调节件包括位于第一 凹槽内活动的第一调节杆， 所述第一调节杆的长度方向与第一凹槽的长度方向一致， 所述 第一调节杆 的两端分别朝向第二凹槽以及第三凹槽内延伸设有第二调节杆以及第三调节 杆， 所述第一调节杆 的中部固定设有与第二调节杆以及第三调节杆相平行 的限位杆， 所述 第一调节杆的后部通过若干弹簧与第一凹槽的内壁连接， 所述插条上具有与限位杆对应的 限位孔， 所述限位杆 的前端插入限位孔中， 所述第二凹槽与第三凹槽朝向外侧的一端与连 接块的外侧连通， 所述连接块的外壁上设有用于调节第二调节杆以及第三调节杆滑动的调 节器。 2.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货盒， 其特征在于， 所述调节器包括旋 钮， 所述连接块的外侧壁上具有圆形的转动孔， 所述转动孔的内壁上环绕设有一圈限位槽， 所述旋钮卡入转动孔内转动， 所述旋钮的侧 壁上设有一圈限位沿， 所述限位沿卡入到限位 槽中转动， 所述第二凹槽以及第三凹槽与转动孔连通， 所述第二调节杆与第三调节杆的外 端抵触在旋钮 上， 所述旋钮上与第二调节杆以及第三调节杆相抵触的一侧面上设有一圈调 节槽， 所述第二调节杆与第三调节杆的外端插入到调节槽内滑动， 所述调节槽平均分为两 个调节部， 两个调节部以调节槽的圆心为基点呈中心对称设置， 所述第二调节杆以及第三 调节杆分别插入两个调节部内滑动， 所述调节部的一端设有一个最高点， 所述调节部的另 一端设有一个最低点， 两个调节部之间的最高点与最低点相 接， 调节部内的槽的深度由最 高点开始逐渐 向最低点加深， 所述限位杆插入限位孔中时， 第二调节杆以及第三调节杆分 别抵触在调节槽内的两个最低点。 3.如权利要求2所述的高洁净度的立式晶圆出货 盒， 其特征在于， 所述第 二调节杆与第 三调节杆抵触在旋钮上的一端为半圆形。 4.如权利要求2所述的高洁净度的立式晶圆出货盒， 其特征在于， 所述旋钮上设有箭 头， 所述连接块的外壁上绕旋钮设有 “开”以及“关”的汉字标识， 所述箭头指向 “关”字标识 时， 第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最低点， 所述箭头指向 “开”字标 识时， 所述第二调节杆与第三调节杆分别抵触在调节槽内的两个最高点。 5.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货 盒， 其特征在于， 所述晶圆放置架上设权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217919101 U 2有至少一个隔板， 所述隔板侧 立设置， 所述隔板与第一卡槽部以及第二卡槽部之间的空间 相匹配， 所述隔板的一侧 卡入到第一晶圆卡槽内， 所述隔板的另一侧 卡入到对应的第二晶 圆卡槽内， 所述隔板的下端与内腔底部相抵 接。 6.如权利要求1所述的高洁净度的立式晶圆出货盒， 其特征在于， 所述第一晶圆卡槽、 第二晶圆卡槽以及晶圆卡口 的两侧内壁上均设有缓冲泡沫垫 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217919101 U 3