(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122966187.9 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限 公司 地址 312000 浙江省绍兴 市越城区皋埠 街 道临江路518号 (72)发明人 任瑞　刘普然　 (74)专利代理 机构 绍兴市知衡专利代理事务所 (普通合伙) 33277 专利代理师 邓爱民 (51)Int.Cl. B26D 7/26(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的 切膜结构 (57)摘要 本实用新型涉及一种切膜刀固定架及晶圆 覆膜边缘切除的切膜结构， 其中切膜刀固定架的 刀片固定座至少包括相对于晶圆表面倾斜的刀 片安装板， 在刀片安装板上设置刀片安装槽， 刀 片安装槽至少一端为敞口端供刀片 插入， 敞口端 还设有倾斜的倒角， 刀片安装在刀片安装槽内且 刀刃外露， 刀片固定座可配合刀片紧固底座将刀 片稳固定位防止脱落。 利用该切膜刀固定架对已 覆膜晶圆进行保护膜边缘切割时， 将安装好刀片 的切膜刀固定架位于晶圆边缘上部， 刀片的刀刃 与晶圆顶 面形成锐角夹角。 采用结构简单的刀片 固定装置实现了刀刃相对于晶圆面的倾斜切割， 确保保护膜 边缘与晶圆倒直保持一致， 有助于改 善晶圆的覆 膜质量， 降低产品加工缺陷概 率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217098043 U 2022.08.02 CN 217098043 U 1.一种切 膜刀固定架， 其特征在于： 包括刀片固定座， 刀片固定座至少包括相对于晶圆 表面倾斜的刀片安装板， 在刀片安装板上设置刀片安装槽， 刀片安装槽至少一端为敞口端 供刀片插 入。 2.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片安装槽采用沿刀片 安装板表面向内凹陷的凹槽， 切膜刀固定架还包括刀片 紧固底座， 刀片紧固底座及刀片固 定座的刀片安装板上各自设置固定孔， 刀片紧固底座的内表面与刀片固定座的刀片安装板 贴合并固定连接 。 3.根据权利要求2所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片紧固底座上相对于 凹槽位置处设置贯 通螺丝孔， 防松螺 丝插入螺丝孔将刀片压紧在凹槽内。 4.根据权利要求2所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述凹槽的顶部形成限位阻 挡墙。 5.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片固定座还包括直角 三角形板， 直角三角形板的斜边与刀片安装板的侧 边连接， 直角三角形板与刀片安装板不 共面， 直角三角形板的一个直角边相对于晶圆表面平行， 另一 直角边相对于晶圆表面垂直。 6.根据权利要求5所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述直角三角形板为非等腰 直角三角形板， 直角三角形板与刀片安装板垂直连接 。 7.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片安装板所在面与晶 圆上表面形成的夹角为锐角， 且该锐角的角度范围为6 0°～70°。 8.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片安装槽隐藏在刀片 安装板的内部， 刀片安装槽仅一端为敞口端， 敞口端的相对端形成限位阻挡墙。 9.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架， 其特征在于： 所述刀片安装槽插入刀片的 敞口端前部设有倾 斜的倒角。 10.一种晶圆覆膜边缘切除的切 膜结构， 其特征在于： 包括如权利要求1至9任一所述切 膜刀固定架、 刀片以及已覆膜的晶圆， 刀片设置在刀片安装槽内， 刀片的刀刃外露于切膜固 定架外部， 刀片所在平面与晶圆覆 膜面形成的夹角为锐角。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217098043 U 2一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的切膜结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体器件制造领域， 具体涉及 一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边 缘切除的切膜结构。 背景技术 [0002]在半导体器件的制造过程中， 有很多工序都会涉及在晶圆表面进行贴膜保护处 理， 为了令保护膜 能够全面覆盖住晶圆的保护面， 通常贴于晶圆表面的保护膜尺寸大于晶 圆尺寸。 然而， 在晶圆上覆膜后， 若保护膜边缘留边过多， 则晶圆边缘与保护膜之间会产生 空隙， 在一些需要化学液处理的工序中， 化学液容易沿空隙处对保护面造成腐蚀。 因此， 需 要将超出晶圆边 缘的保护膜予以切除， 以使保护膜裁切至与晶圆直径相匹配的尺寸。 [0003]晶圆在加工过程中通常边缘采用倒角结构设计， 其目的是为了防止晶圆在转运过 程中边缘与晶圆盒触碰造成碎裂。 而目前采用的切除晶圆边缘多余保护膜的刀片与晶圆垂 直， 这种切割 结构使得切膜后保护膜的边缘长度不可控， 也容易令保护膜边缘与晶圆边缘 发生偏移， 使得保护膜边缘与晶圆表 面出现空隙， 从而导致各种质量缺陷问题。 为避免出现 这种质量问题， 需要保证切割完的保护膜边缘与晶圆边缘倒角一致， 现有解决办法常采用 激光贴膜机或真空贴膜机来控制， 前者可以调整保护膜的切割半径令其长度可控， 但激光 贴膜机成本较高； 后者可以预切割保护膜， 再对覆膜半径进行调整， 但相对效率低于前者。 比较理想且低成本的处理方式， 是令切膜刀相对于晶圆面倾斜而非垂直， 两者之间形成锐 角夹角， 该夹角称为切膜刀角度， 这样切膜后保护膜的边缘外径小于晶圆的外径， 保护膜 边 缘也存在倒角。 切膜后的晶圆在放入晶圆盒转运过程中， 也不会因保护膜由于边缘长度超 出晶圆边缘， 而与晶圆盒卡槽底部触碰造成膜粘附性降低； 也不会因保护膜边缘与晶圆边 缘出现空隙而令化学液渗入造成质量问题。 因此， 发明人设计出一种 可令切膜刀角度为锐 角的刀片固定装置， 本 案由此而生。 实用新型内容 [0004]本实用新型首先公开一种切膜刀固定架， 能够令切膜刀安装后与竖直面保持锐角 夹角， 确保切割后保护膜边 缘与晶圆倒直保持一 致。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型 所采用的技 术方案为： [0006]一种切膜刀固定架， 包括刀片固定座， 刀片固定座至少包括相对于 晶圆表面倾斜 的刀片安装板， 在刀片安装板上设置刀片安装槽， 刀片安装槽至少一端为敞口端供刀片插 入。 [0007]进一步， 所述刀片安装槽采用沿刀片安装板表面向内凹陷的凹槽， 切膜刀固定架 还包括刀片 紧固底座， 刀片紧固底座及刀片固定座的刀片安装板上各自设置固定孔， 刀片 紧固底座的内表面与刀片固定座的刀片安装板贴合并固定连接 。 [0008]进一步， 刀片紧固底座上相对于凹槽位置处设置贯通螺丝孔， 防松螺丝插入螺丝 孔将刀片压紧在凹槽内。说　明　书 1/4 页 3 CN 217098043 U 3