(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123017822.5 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 苏州源森特科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区塔园路 379号2号楼3 08-1 (72)发明人 陈朝红　 (51)Int.Cl. G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种MEMS气体传感器 (57)摘要 本实用新型公开了一种MEMS气体传感器， 包 括基板、 传感器主体以及设于传感器主体上的防 尘罩， 通过防尘罩对传感器主体覆盖防护， 具有 对气体传感器外部防护的效果， 在气体传感器配 合使用过程中受到外力损坏或传感器主体的气 敏部受到影 响的几率大大降低， 传感器主体通过 插柱上的导电弹片与基板上插孔内导电层内部 插接的导电铜管向配合， 导电弹片弹性抵触向导 电铜管内壁， 实现导电弹片通过导电铜管、 导电 层的配合与金属引线电连， 对传感器主体与基板 呈可分离式快速组装， 提高对传感器主体装配效 率的同时， 方便后期检修拆卸。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216622312 U 2022.05.27 CN 216622312 U 1.一种MEMS气体传感器， 包括基板(1)、 传感器主体(2)以及设于传感器主体(2)上的防 尘罩(3)， 其特征在于： 所述基板(1)上顶面设有传感器安装槽(4)且传感器安装槽(4)内中 心的插孔(5)贯穿基板(1)， 所述插孔(5)内壁的导电层(6)内壁紧密贴合有导电铜管(7)， 所 述导电层(6)外壁连接的金属引线(9)末端贯穿基板(1)且设于基板(1)底面的焊接插柱 (10)底端； 所述传感器主体(2)嵌装在传感器安装槽(4)内， 所述传感器主体(2)底端中心的插柱 (11)上的导电弹片(12)与导电铜管(7)内壁相抵触贴合； 所述防尘罩(3)底端与传感器安装槽(4)内壁卡接且对传感器主体(2)覆盖， 所述防尘 罩(3)底端外壁上呈外倾斜的绝缘橡胶层(13)卡设于传感器安装槽(4)和防尘罩(3)外壁之 间。 2.根据权利 要求1所述的一种MEMS气体传感器， 其特征在于： 所述焊接插柱(10)的末端 设有与金属引线(9)相连接的焊接锡块(14)。 3.根据权利要求1所述的一种MEMS气体传感器， 其特征在于： 所述基板(1)的上顶面设 有设于传感器安装槽(4)外缘的导向弧槽(15)。 4.根据权利 要求1所述的一种MEMS气体传感器， 其特征在于： 所述插柱(11)上至少均布 设有两个导电弹片(12)， 所述 导电弹片(12)的末端设有焊接锡点(16)。 5.根据权利要求1所述的一种MEMS气体传感器， 其特征在于： 所述防尘罩(3)上均布有 若干个设于传感器主体(2)气敏部上方的细微孔(17)， 所述防尘罩(3)外缘设有若干个倾斜 细微孔(18)。 6.根据权利 要求1所述的一种MEMS气体传感器， 其特征在于： 所述绝缘橡胶层(13)的外 壁上设有呈横向锯齿状的软防滑槽(8)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216622312 U 2一种MEMS气体传感器 技术领域 [0001]本实用新型属于传感器技 术领域， 具体涉及一种M EMS气体传感器。 背景技术 [0002]气体传感器是MEMS(Microelectro  Mechanical  Systems， 微机系统)传 感技术领 域的重要组成部 分， 在低功 耗、 小尺寸和低成本约束 条件下， 实现对目标气 体的高度灵敏性 和长期使用的稳定性是MEMS气体传感器的重要技术研究与发展 方向。 现有的MEMS气体传感 器多采用锡焊或支脚进 行固定安装， 在长期使用后， 易受空气中湿度和温度等因素影响， 发 生不同程度的腐蚀， 从而导致MEMS固定不牢靠， 影响监测结果的准确性， 不能满足长期使用 要求， 且在气体传感器损坏时， 对于拆卸检修 不便。 [0003]所以， 现有技术中， 为了方便对MEMS气体传感器安装及提高使用寿命， 公告号为 “CN214539360U ”的一种汽车空气质量监测用MEMS气体传感器， 包括传感器本体和基板， 所 述基板底部开设有通风槽， 所述基板表面设置有紧固螺栓， 所述基板内侧设置有传感器本 体， 所述传感器本体底端两侧均设置有引脚， 所述基板内侧开设有引脚槽， 所述引脚槽内侧 设置有十字支撑架， 所述十字支撑架表面开设有通孔， 所述通孔一侧设置有金属引线， 所述 通孔内壁设置有安装卡件， 所述 安装卡件外侧套装有卡 簧， 所述卡簧外侧设置有橡胶垫 。 [0004]对于上述该汽车空气质量监测用MEMS气体传感器， 传感器本体采用卡接在十字支 撑架的表面， 引脚与引脚槽相互适配进 行扣合， 安装卡件穿过通孔与卡簧相抵， 提高传感器 本体与基板之间安装的便捷程度， 仅仅通过扣合的方式对引脚和引脚槽相扣接， 在长时间 使用使引脚与引脚槽之间贴合会产生松动， 以及对传感器本体与基板拆卸时， 由于安装卡 件的卡持固定， 无法拆卸， 拆卸时必然损坏安装卡件， 从而造成基板和传感器本体的损坏， 并不易于后期检修拆卸的操作。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种MEMS气体传感器， 以解决上述背景技术中提出的 问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0007]一种MEMS气体传感器， 包括基板、 传感器主体以及设于传感器主体上的防尘罩， 所 述基板上顶面设有传感器安装槽且传感器安装槽内中心的插孔贯穿基板， 所述插孔内壁的 导电层内壁紧密贴合有导电铜管， 所述导电层外壁连接的金属引线末端贯穿基板且设于基 板底面的焊接插柱 底端； [0008]所述传感器主体嵌装在传感器安装槽内， 所述传感器主体底端中心的插柱上的导 电弹片与导电铜管内壁相抵触贴合； [0009]所述防尘罩底端与传感器安装槽内壁卡接且对传感器主体覆盖， 所述防尘罩底端 外壁上呈外倾斜的绝缘橡胶层卡设于传感器安装槽和防尘罩外壁之间。 [0010]进一步的， 所述焊接插柱的末端设有与金属引线相连接的焊接锡块。说　明　书 1/4 页 3 CN 216622312 U 3