(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122694886.2 (22)申请日 2021.11.05 (73)专利权人 无锡上机数控股份有限公司 地址 214100 江苏省无锡市滨湖区雪浪街 道南湖中路158号 (72)发明人 杨阳　杨振华　季富华　管家辉　 (74)专利代理 机构 北京睿博行远知识产权代理 有限公司 1 1297 专利代理师 张燕平 (51)Int.Cl. F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片吹干风刀 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片吹干风刀， 涉及 硅片生产技术领域。 本实用新型包括风刀本体、 分隔板和进风软管， 进风软管固定于风刀本体的 顶部， 分隔板上安装有用于调节 风刀本体吹风方 向的调节机构， 调节机构包括第一电机、 主动齿 轮、 从动齿轮和连接块， 分隔板的一侧固定有第 一电机， 第一电机的输出端固定有主动齿轮， 主 动齿轮的斜上方啮合连接有从动齿轮。 本实用新 型通过主动齿轮、 从动齿轮和第一电机之间的相 互配合， 使得装置能够前后不同角度的对硅片 进 行吹干， 避免造成假干现象， 且通过分风管道、 固 定杆和导风板之间的相互配合， 使得装置能够对 左右不同的方向同时进行吹风。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217154910 U 2022.08.09 CN 217154910 U 1.一种硅片吹干风刀， 包括风刀本体(1)、 分隔板(2)和进风软管(3)， 进风软管(3)固定 于风刀本体(1)的顶部， 其特征在于： 所述分隔板(2)上安装有用于调节 风刀本体(1)吹风方 向的调节机构。 2.根据权利要求1所述的一种硅片吹干风刀， 其特征在于： 所述调节机构包括第 一电机 (4)、 主动齿轮(5)、 从动齿轮(6)和连接块(7)； 所述分隔板(2)的一侧固定有第一电机(4)， 所述第一电机(4)的输出端固定有主动齿 轮(5)， 所述主动齿轮(5)的斜上方啮合连接有从动齿轮(6)， 且所述从动齿轮(6)与分隔板 (2)以及主动齿轮(5)与分 隔板(2)均转动连接， 所述 从动齿轮(6)的一侧固定有 连接块(7)， 且所述连接块(7)与风刀本体(1)固定连接 。 3.根据权利要求2所述的一种硅片吹干风刀， 其特征在于： 所述分隔板(2)的一侧且位 于第一电机(4)的上方固定有第二电机(8)， 所述第二电机(8)的输出端固定有卡接L型体 (9)， 用于限制所述从动齿轮(6)的转动。 4.根据权利要求1所述的一种硅片吹干风刀， 其特征在于： 所述风刀本体(1)内部的上 侧设置有进气管道(10)， 所述进气管道(10)的下侧设置有多个分风管道(11)， 所述风刀本 体(1)底部的内侧固定有 多个固定杆(12)， 所述固定杆(12)的外侧转动连接有导 风板(13)。 5.根据权利要求3所述的一种硅片吹干风刀， 其特征在于： 所述卡接L型体(9)与分隔板 (2)通过轴承转动连接 。 6.根据权利要求4所述的一种硅片吹干风刀， 其特征在于： 所述导风板(13)与固定杆 (12)为过渡配合。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217154910 U 2一种硅片吹干风刀 技术领域 [0001]本实用新型属于 硅片生产技 术领域， 特别是 涉及一种硅片吹干风刀。 背景技术 [0002]硅片， 又叫做 “芯片”、 集成电路块。 一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管 组成的电路， 完成一个或者数个功能， 硅片在生产过程中， 需要有吹干步骤， 现有的装置在 对硅片进 行吹干时， 其风嘴面积太小， 使用者在吹干时一次只能针对一个地方， 不能够用大 面积的一次性进行吹干， 使吹干质量的下降， 造成假干现象， 影响后续工作。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种硅片 吹干风刀， 以解决了现有的问题： 现有的装 置在对硅片进 行吹干时， 其风嘴面积 太小， 使用者在吹干时一次只能针对一个地方， 不能够 用大面积的一次性进行吹干， 使吹干质量的下降， 造成假干现象， 影响后续工作。 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型是通过以下技术方案实现的： 一种硅片 吹干风 刀， 包括风刀本体、 分隔板和进风软管， 进风软管固定于风刀本体的顶部， 所述分隔板上安 装有用于调节风刀本体吹风方向的调节机构。 [0005]进一步地， 所述调节机构包括第一电机、 主动齿轮、 从动齿轮和连接块； [0006]所述分隔板 的一侧固定有第一电机， 所述第一电机 的输出端固定有主动齿轮， 所 述主动齿轮的斜上方啮合连接有从动齿轮， 且所述从动齿轮与分隔板以及主动齿轮与分隔 板均转动连接， 所述从动齿轮的一侧固定有连接块， 且所述连接块与风刀本体固定连接 。 [0007]进一步地， 所述分隔板 的一侧且位于第一电机 的上方固定有第二电机， 所述第二 电机的输出端固定有卡接L型体， 用于限制所述从动齿轮的转动。 [0008]进一步地， 所述风刀本体内部 的上侧设置有进气管道， 所述进气管道的下侧 设置 有多个分风管道， 所述风刀本体底部的内侧固定有多个固定杆， 所述固定杆 的外侧转动连 接有导风板。 [0009]进一步地， 所述卡接L型体与分隔板通过轴承转动连接 。 [0010]进一步地， 所述导风板与固定杆为过渡配合。 [0011]本实用新型 具有以下有益效果： [0012]1、 本实用新型通过主动齿轮、 从动齿轮和第一电机之间的相互配合， 使得装置能 够前后不同角度的对硅片进行吹干， 避免造成假干现象， 进 而提升了工作效率。 [0013]2、 本实用新型通过分风管道、 固定杆和导风板之间的相互配合， 使得装置能够对 左右不同的方向同时进行吹风， 进 而使得硅片风干的效果更好。 附图说明 [0014]为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案， 下面将对 实施例描述所需要使 用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，说　明　书 1/3 页 3 CN 217154910 U 3