(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211008400.8 (22)申请日 2022.08.22 (71)申请人 中国科学院上海高等研究院 地址 201210 上海市浦东 新区张江高科技 园区海科路9 9号 (72)发明人 王岩　陈锦芳　 (74)专利代理 机构 上海智信专利代理有限公司 31002 专利代理师 邓琪　熊俊杰 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种高压超纯 水喷淋装置 (57)摘要 本发明涉及一种高压超纯水喷淋装置， 包 括： 支撑机构， 固定在地面； 运动机构， 包括滑动 机构和旋转机构， 所述滑动机构设置于所述支撑 机构上， 所述旋转机构固定在所述滑动机构上； 喷淋机构， 固定在地面， 包括依次连接的高压泵、 过滤器和喷淋杆， 所述喷淋杆沿Z向设置且穿过 旋转机构和滑动机构。 本发明的高压超纯水喷淋 装置， 采用喷淋杆固定、 负载运动的方式实现负 载的清洗， 通过滑动机构和旋转机构实现负载的 上下和旋转运动， 有效地缩短了超 纯水管路的长 度， 从而减小了水压损失； 且结构紧凑。 权利要求书2页 说明书6页 附图9页 CN 115365208 A 2022.11.22 CN 115365208 A 1.一种高压超纯 水喷淋装置， 其特 征在于， 包括： 支撑机构， 固定在地 面； 运动机构， 包括滑动机构和旋转机构， 所述滑动机构设置于所述支撑机构上， 所述旋转 机构固定在所述滑动机构上； 喷淋机构， 固定在地面， 包括依次连接的高压水泵、 过滤器和喷淋杆， 所述喷淋杆沿Z向 设置且穿过旋转机构和滑动机构。 2.根据权利要求1所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述支撑机构包括支撑 架， 所述支撑架包括固定在地面的支撑底座， 所述支撑底座上设置有两间隔且沿Z向延伸的 竖梁， 两竖梁之间连接有 多个间隔且沿Y向延伸的横梁。 3.根据权利要求2所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 两竖梁上分别设置有第 一 支撑杆和第二支撑杆， 所述第一支撑杆 的两端分别与所述竖梁和所述支撑底座连接， 所述 第二支撑杆的两端分别与所述竖梁和地 面连接。 4.根据权利要求2所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述滑动机构包括滑动 架， 所述滑动架上设置有 多个滑块， 两竖梁上分别设置有与所述滑块相配合的导轨 。 5.根据权利要求4所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述滑动机构还包括丝 杆、 螺母和第一 驱动马达， 所述丝杆的两端分别安装在所述支撑底 座和最上端的横梁上， 所 述螺母安装在所述丝杆上， 所述第一驱动马达与所述丝杆连接， 所述滑动架与所述螺母固 定连接。 6.根据权利要求5所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述滑动架包括沿Y向设 置的背板， 所述背板的Y 向两端分别设置有沿X向延伸的托举臂， 所述滑块设置在所述背板 上， 所述螺母与所述背板固定连接 。 7.根据权利要求6所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述旋转机构包括第 二驱 动马达、 第一皮带轮和第二皮带轮， 所述第二 驱动马达固定在所述背板上， 所述第一皮带轮 与所述第二驱动马达的驱动轴 连接， 所述第二皮带轮通过皮带与所述第一皮带轮联动， 所 述第二皮带轮通过轴承与一旋转盘连接， 所述旋转盘上固定有负载支撑圆盘。 8.根据权利要求7所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述轴承包括轴承内圈、 轴承外圈和夹设在两者之间的滚珠， 所述旋转盘上设置有一台阶， 所述台阶与所述轴承内 圈的上端过盈配合， 所述轴承内圈的下端与所述第二皮带轮 配合， 并通过卡环紧 固。 9.根据权利要求8所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述轴承外圈外套设有托 举方盘， 所述 托举方盘位于所述旋转盘的下 方并与所述旋转盘之间具有间隙。 10.根据权利要求7所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述皮带上设置有旋转 编码器， 所述旋转编码器的旋转轮与所述第二皮带轮啮合。 11.根据权利要求7 所述的高压超纯 水喷淋装置， 其特 征在于， 所述皮带外套设有外罩。 12.根据权利要求7所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 两托举臂上均设置有负 载平移机构， 所述负载平移机构包括滑动臂和滑轨， 所述滑轨沿X向设置在所述托举臂上， 所述滑动臂设置在所述滑轨上， 所述负载支撑圆盘与所述滑动臂可拆卸连接 。 13.根据权利要求12所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述滑动臂上设置有锁 紧螺杆， 所述锁紧螺杆与所述滑轨可分离触接 。 14.根据权利要求1所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述喷淋杆顶端设置有权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115365208 A 2喷淋头， 所述喷淋头沿周向具有 多个喷淋孔。 15.根据权利要求1所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述喷淋杆的底部设置 有支撑管， 所述支撑管外套设有 下水盘， 所述下水盘固定在地面， 所述下水盘与所述支撑管 的连接处设置有密封圈， 所述下 水盘上设置有出 水口。 16.根据权利要求7所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 还包括挡水罩， 所述挡水 罩包括罩体和支撑盘， 所述支撑盘位于所述负载支撑圆盘的下方并固定在两托举臂上， 所 述罩体的底端则与所述支撑盘插接， 所述 罩体将所述负载支撑圆盘和所述喷淋杆遮蔽。 17.根据权利要求16所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述罩体和所述支撑盘 均由对称的两半拼接而成。 18.根据权利要求16所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述支撑盘上设置有下 水口。 19.根据权利要求10所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 还包括控制装置， 所述 控制装置与所述高压水泵、 所述第一驱动马达、 所述第二驱动马达和所述旋转编码器电连 接或通讯连接 。 20.根据权利要求19所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述控制装置包括触摸 显示屏， 所述触摸显示屏上设置有急停按 钮。 21.根据权利要求19所述的高压超纯水喷淋装置， 其特征在于， 所述竖梁上设置有与 所 述控制装置电连接或通讯连接的位移传感器、 上限位 开关和下限位 开关。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115365208 A 3