(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211050185.8 (22)申请日 2022.08.31 (71)申请人 西安电子科技大 学 地址 710071 陕西省西安市太白南路2号 (72)发明人 田文超　从昀昊　王永坤　张国光　 张崤君　张义正　 (74)专利代理 机构 陕西电子 工业专利中心 61205 专利代理师 田文英　王品华 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种泵与散热器一体的微 通道散热器 (57)摘要 本发明公开一种泵与散热器一体的微通道 散热器， 包括上底板， 下底板、 流体入口、 流体出 口、 散热鳍片、 棒状金属电极、 网状金属电极。 本 发明直接对微通道散热器内部的电流体施加强 电场， 实现了泵与散热器的一体化， 使本发明设 计的结构具有更低的设计难度、 更高的可靠性和 更长的工作寿命。 本发明采用散热器内部的电极 直接控制电流体， 改善了 现有结构中流体工质无 法快速和准确控制的问题， 使得本发 明结构内部 流体工质的流动均匀性更好。 本发 明采用规整且 密集的散 热鳍片， 使 得本发明结构具有更小的水 力直径， 更低的阻力和压降。 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 CN 115297695 A 2022.11.04 CN 115297695 A 1.一种泵与散热器一体的微通道散热器， 包括上底板(1)、 下底板(2)、 流体入口(3)、 流 体出口(4)、 散热鳍片(5)、 棒状金属电极(6)、 网状金属电极(7)； 其特征在于： 所述上底板 (1)沿平行于电流体流动方向， 至少成型有两两交错的33对通孔， 每对电极通过导热胶分别 粘结于上底板(1)的相应通孔内， 每对电极的上表面均与上底板(1)的上表面重合； 每对电 极中包括一对棒状金属电极(6)和一对网状金属电极(7)， 其材料均采用金属材料， 每对电 极中， 均有一个电极接直流电源正极， 另一个电极接直流电源负极， 且可以单独控制每对电 极上施加的电流大小； 在上底板(2)的上表 面沿平行于电流体流动的方向， 均匀设置有多 条 整齐且密集的散热鳍片(5)。 2.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述上底 板(1)为长方体底板， 四周成型有凸台， 中间设置有圆角矩形的腔 体， 上底板(1)上沿平行于 电流体流动方向交错设置有13行5列， 共33对通孔， 所述每对通孔是由一对圆形通孔与一对 矩形通孔组成的， 每对圆形通孔是 由一个粗圆形通孔和一个细圆形通孔组成的， 每对矩形 通孔是由一个宽矩形通 孔和一个窄矩形通 孔组成的， 上底板(1)采用陶瓷材 料。 3.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述下底 板(2)为长方体底板， 其长度和宽度与上底板(1)对应相等， 其上表 面与上底板(1)的下表 面 通过导热胶 进行粘结， 二者共同形成了供电流体流动的圆角矩形密封腔 体， 下底板(2)采用 半导体材 料。 4.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述流体 入口(3)、 流体出口(4)为直径相同的圆形通孔， 流体入口(3)位于上底板(1)左侧， 流体出口 (4)位于上底板(1)右侧， 流体入口(3)和流体出口(4)位于上底板(1)的短边的中心线两侧， 且二者关于上底板(1)的长边的中心线对称。 5.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述散热 鳍片(5)形状为薄长方体， 通过反应离子刻蚀法， 均匀刻蚀于下底板(2)的上表 面， 所有散热 鳍片(5)的长边均严格平行于电流体流动方向， 相邻两条散热鳍片(5)之间的距离不超过 0.5mm； 下底板(2)的中央区域设置有散热鳍片(5)， 所有的散热鳍片(5)高度相等； 散热鳍片 (5)分为长散热鳍片(5.1)和短散热鳍片(5.2)两种， 下底板(2)的长度至少是每条短散热鳍 片(5.2)的长度的5倍， 每条长散热鳍片(5.1)的长度至少是每条短散热鳍片(5.2)长度的3 倍， 相邻两条长散热鳍片(5.1)之间设置有2～3组短散热鳍片组； 下底板(2)上共设置8行 × 1列共8条的长散热鳍片(5.1)， 共设置13行 ×5列共32组的短散热鳍片组， 4条相邻的长度相 同的短散热鳍片(5.2)组成一组短散热鳍片组。 6.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述每对 棒状金属电极(6)均由形状为圆柱体的一个粗棒状金属电极和一个细棒状金属电极组成， 二者高度相等， 半径不同， 一粗一细， 每对棒状金属电极(6)均采用金属材料； 每个粗棒状金 属电极均通过导热胶粘结于上底板(1)的粗圆形通孔内， 每个细棒状金属电极均通过导热 胶粘结于上底板(1)的细圆形通孔内， 每对棒状金属电极(6)的上表面均与上底板(1)的上 表面重合； 每 个粗棒状金属电极接直 流电源正极， 每 个细棒状金属电极接直 流电源负极。 7.根据权利要求1所述的一种 泵与散热器一体的微通道散热器， 其特征在于， 所述每对 网状金属电极(7)均由形状为长方体的一个宽网状金属电极和一个窄网状金属电极组成， 二者的长度和高度相等， 宽度不同， 一宽一窄， 在金属网状电极(7)的一半部分均匀设置有3权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115297695 A 2行3列共9个圆形通孔， 每个圆形通孔的直径均相等， 每对网状金属电极(7)均采用金属材 料； 每个宽网状金属电极均通过导热胶 粘结于上底板(1)的宽矩形通孔内， 每个窄网状金属 电极均通过导热胶 粘结于上底板(1)的窄矩形通孔内， 每对网状金属电极(7)的上表 面均与 上底板(1)的上表 面重合； 每个宽网状金属电极接直流电源正极， 每个窄网状金属电极接直 流电源负极。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115297695 A 3